一种制备硫化锌膜的要领与流程

2019-12-01

本申请属于薄膜制备技能规模,详细涉及一种制备硫化锌膜的要领。



配景技能:

硫化锌是一种半导体发光质料,由于它同时具有化学性质不变、含量富厚、无毒环保等利益,今朝硫化锌主要应用在光学镀膜、光电导体以及光伏器件等诸多规模。硫化锌有粉末状、透明或半透明块状多晶等形态。块状多晶硫化锌主要用于激光器或航行器的红外窗口质料,还被大量应用于真空镀膜。

今朝,硫化锌膜主要通过热蒸发制备而成。凡是将装有硫化锌的钼舟置于真空室内,在必然的真空度下,通过蒸起源加热使其蒸发,当蒸发质料的分子平均自由程大于其真空室的线形尺寸,蒸发质料的原子和分子从蒸起源外貌逸出后,很少受到其他分子或原子的攻击与阻碍,可直接达到被镀的基材外貌,由于基片外貌温度较低便凝聚到基片外貌而形成薄膜。

然而,现有技能中钼舟在加热蒸发进程中,钼舟容易被烧坏,影响硫化锌膜的匀称性,且出产效率不高。因此,今朝需要优化现有技能的工艺参数,以提高制备硫化锌膜的出产效率。



技能实现要素:

本申请提供了一种制备硫化锌膜的要领,提高了硫化锌膜的匀称性和出产效率。

本申请提供了一种制备硫化锌膜的要领,包罗以下步调:

将石英管安装在蒸发槽内;

将钼舟平整安装在石英管上方,使钼舟与蒸发槽内石英管平行;

将钼舟与蒸发槽内正负电极座安稳毗连在一起;

将硫化锌放在钼舟上;将膜放在放卷装置长举办装膜;

将膜与蒸发槽送入真空仓中,在真空镀膜机内举办蒸发镀膜;

关蒸发降温,使室内氛围进入真空仓,取膜,获得硫化锌膜。

可选的,所述钼舟的厚度为0.75mm。

可选的,所述石英管的长度为1.0至1.5cm之间任一数值。

可选的,所述真空镀膜机在真空蒸发进程中的工艺参数为:电压150V、真空镀膜机速度300~450m/min。

可选的,所述真空镀膜机在真空蒸发进程中的真空度为2×10-2Pa。

由以上技能方案,本申请提供了一种制备硫化锌膜的要领,石英管放在蒸发槽内,钼舟平整安装在石英管上方并与蒸发槽内正负电极座安稳毗连在一起,石英管垫在钼舟底部对钼舟起到散热和支撑垫平的浸染,钼舟平整安排使得硫化锌在真空仓中蒸发匀称,从而改进硫化锌镀层的匀称性。回收该要领制备的硫化锌膜,改变了硫化锌的分列方法,制得的硫化锌膜匀称性好、分列整齐,且制备硫化锌膜的出产效率显著提高。

附图说明

为了更清楚地说明本申请的技能方案,下面将对实施例中所需要利用的附图作简朴地先容,显而易见解,对付本事域普通技能人员而言,在不支付缔造性劳动性的前提下,还可以按照这些附图得到其他的附图。

图1为本申请提供的一种制备硫化锌膜的要领流程示意图。

详细实施方法

此处的附图被并入说明书中并构本钱说明书的一部门,示出了切合本申请的实施例,并与说明书一起用于表明本申请的道理。

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技能中的技能方案,下面将对实施例或现有技能描写中所需要利用的附图作简朴地先容,显而易见解,对付本事域普通技能人员而言,在不支付缔造性劳动的前提下,还可以按照这些附图得到其他的附图。

拜见图1,为本申请提供的一种制备硫化锌膜的要领流程示意图。

本申请提供了一种制备硫化锌膜的要领,包罗以下步调:

S1将石英管安装在蒸发槽内;

S2将钼舟平整安装在石英管上方,使钼舟与蒸发槽内石英管平行;

S3将钼舟与蒸发槽内正负电极座安稳毗连在一起;

S4将硫化锌放在钼舟上;将膜放在放卷装置长举办装膜;

S5将膜与蒸发槽送入真空仓中,在真空镀膜机内举办蒸发镀膜;

S6关蒸发降温,使室内氛围进入真空仓,取膜,获得硫化锌膜。

真空镀膜是真空科学技能规模中最活泼的一门应用技能,凡是回收真空镀膜机制备硫化锌薄膜。真空镀膜机是较高真空度下举办镀膜,主要分成蒸发和溅射两种。蒸发镀膜一般是加热靶材使外貌组分以原子团或离子形式被蒸发出来,而且沉降在基片外貌,通过成膜进程(散点-岛状布局-迷走布局-层状发展)形成薄膜。对付溅射类镀膜,主要是操作电子或高能激光轰击靶材,并使外貌组分以原子团或离子形式被溅射出来,而且最终沉积在基片外貌,经验成膜进程,最终形成薄膜。

今朝,真空蒸发镀膜技能在镀膜技能中处于相当重要的位置,通过加热靶材使外貌组分以原子团或离子形式被蒸发出来。镀层厚度匀称性主要取决于:1、基片质料与靶材的晶格匹配水平;2、基片外貌温度;3、蒸发功率,速率;4、真空度;5、镀膜时间,厚度巨细。镀层晶向匀称性主要取决于:1、晶格匹配度;2、基片温度;3、蒸发速率。总之,镀层的匀称性与真空蒸镀进程中工艺参数密切相关,符合的工艺参数使得镀层匀称性较好。所以,优化工艺参数是提高镀层匀称性的有效手段。